LithoDreamer:物理信息世界模型突破计算光刻技术
斯坦福大学等研究团队提出LithoDreamer,这是首个将物理信息世界模型(World Model)框架应用于计算光刻的工作。该模型将“版图-掩模-光刻胶图像-显影后图像”流程建模为多步演化系统,通过对比变分优化实现可解释的过程干预,无需连续监督。实验表明,LithoDreamer在正向演化与逆向规划任务中均达到当前最优性能,并已公开完整的光刻数据集。这一方法有望大幅提升先进制程节点的芯片制造良率与性能,为半导体制造智能化提供新路径。